الطلاء الذي يشبه الماس DLC هو فيلم رفيع غير قابل للاشمئزاز ، والذي يتمتع بخصائص عالية الجودة من الماس والجرافيت ، ولديه مزايا صلابة جيدة ، والموصلية الحرارية ، ومعامل الاحتكاك المنخفض ، والأداء الممتاز للعزل الكهربائي ، والاستقرار الكيميائي العالي ، وما إلى ذلك ، ويستخدم على نطاق واسع في تصنيع الآلات الجوية والمعدات الكهربائية الأخرى. يتم تحضير طلاء DLC بشكل أساسي بواسطة طريقة تراكم طور البخار الفيزيائي وطريقة تراكم طور البخار الكيميائي ، ويتم تصنيعها بواسطة معدات تراكم خاصة. فيما يلي مقدمة موجزة للأجزاء الخمسة التي تشكل معدات ترسب الطلاء.
1. نظام التدفئة وتبريد الماء
يتم توزيع نظام التدفئة ونظام تبريد الماء بالتساوي حول غرفة التراكم ، ويتم التحكم في درجة حرارة التدفئة والسرعة وحجم الماء وقابل للتعديل ، ويتم تثبيت جهاز الإنذار المقابل ؛ يقع النظام الدوار في أسفل غرفة التراكم ويتم عزله عن طريق عزل السيراميك ، وسرعة الدوران قابلة للتحكم وقابلة للتعديل.
2. نظام فراغ
يتكون نظام الفراغ من مضخة ميكانيكية ومضخة جذور ومضخة نشر وصمامات التحكم المقابلة وعناصر القياس ، والتي يمكن أن تتحول بحرية بين الفراغ العالي والمنخفض وفقًا لمتطلبات العملية.
3. نظام إمداد الغاز
يتم وضع نظام إمدادات الغاز في الجزء العلوي من غرفة التراكم ، وتشمل أصناف الغاز H2 و N2 و AR و CHA و C2H2 والغاز المحتوي على SI ، ويتم تخصيص واجهتين في الجزء العلوي من غرفة التراكم لتسهيل إضافة أنواع أخرى من الغازات في المستقبل.
من أجل الحصول على طبقة الانتقال التي تحتوي على Si ، عادةً ما يتم استخدام Sih4 كغاز مادة ، ولكن Sih4 أكثر خطورة ، لذلك نختار الغاز الأقل خطورة Si كمصدر Si في معالجة الطلاء.
4. نظام التراص المستهدف
تحتوي الجهاز على وحدتين للتكديس ، PVD و PCVD ، والنية الأساسية لوحدة PCVD هي لتراكم تشبه الماس (DLC) ، وتوفير الطاقة المحدد هو إمدادات طاقة تعديل النبض ، ويمكن أن يتم ضبط المعلمات واحدة بعد ذلك ، بعد أن تم ضبطها على الحمل ، بعد أن تم ضبطها على الحمل. يمكن أيضًا المغلفة على قطعة العمل المعقدة ؛ النوايا الأساسية لوحدة PVD هي: (1) بالنسبة للركائز المختلفة ، يمكن استبدال أهداف مختلفة بأهداف مختلفة ، ويمكن تطوير طبقات لاصقة مختلفة أو طلاء DLC المعدني الذي يحتوي على أنواع مختلفة من العناصر ؛ (2) بعد استبدال الهدف ، يمكن تشكيل مجموعة متنوعة من الطلاء المركب من "الطبقة الوظيفية + DLC" لفئات مختلفة.
5. نظام التحكم الكهربائي
يتبنى نظام التحكم الكهربائي تحكمًا نشطًا كاملًا PLC ، بما في ذلك الكمبيوتر المضيف ، ووحدة تحكم قابلة للبرمجة ، ومحول التكيف ، ومزود الطاقة بالتحكم ، وإمدادات طاقة التحكم في الفراغ ونظام القياس ، وإمدادات طاقة التحكم في إمدادات الهواء ، ونظام التحكم في درجة الحرارة ، وتوفير الطاقة ، ويتم تشغيل عملية التحكم في الكشف عن مياه التبريد ، وما إلى ذلك. في الوقت الحقيقي. إذا كانت هناك مشكلة ، فسيأخذ الجهاز مبادرة التنبيه ، ووفقًا لمستوى الإنذار ، فسيتم اختيار الجهاز شرط "الانتظار" أو يتوقف مباشرة ، ويستمر في العمل بعد إزالة المنبه. يتم تخزين سجلات التشغيل وسجلات الإنذار لكل فرن بشكل نشط في الكمبيوتر لسهولة الإشارة إليها. وفقًا للمتطلبات ، يمكن تغيير الجهاز إلى تشغيل يدوي بالكامل ، ويمكن تعديل معلمات الطلاء في واجهة التشغيل الرئيسية أثناء عملية الطلاء.